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材料剖面观察,纳米结构制备与加工,辅助性气体刻蚀与沉积。
用光的干涉原理,非接触式测量样品的三维形貌,得到三维形貌图以及相关数据。主要是测试三维形貌及非接触式
Characteristic: Measuring visible, near infrared a
极端光学技术与仪器全国重点实验室面向光学光子学科技前沿,聚焦皮米光子学与皮米光学技术及仪器的研究,努力打造我国光学光子学领域的战略科技力量。
实验室将重点开展皮米光子特性与操控、局域光调制、光与物质相互作用、阿秒光子学及光梳光源、皮米光子测量仪器的研究。汇聚国内外力量,引领光子前沿技术的发展,造福人类。