仪器设备

三维干涉显微镜(轮廓仪)

适用于测量物体表面形貌。

预约须知:

1、 系统上预约,按照预约时间来教三126,到了门口电话老师,若预约时间有修正,老师会短信联系(老师为了减轻工作量,不再系统中确认,但老师都知道的,请至少提前1个工作日预约,老师工作时间没时间看新预约,只有中午休息才会统计和联系;周一测试的,请至少在上一个周五上午预约,周二上午是例会时间,请勿预约该时间);

2、 测量样品的测量面,需要保持水平状态,可能会需要自制样品夹具以保证被测面水平;

3、 只能测试微观区域(单次测量最大5*5mm左右,若需要更大的测量范围,可以选用拼接的方法,拼接和到厘米量级,但时间会很长。最小测量范围是100倍光学显微镜能观察到的区域,图区域是50*50um,若是100纳米或以下的样品,是看不到的)。

校外预约:057187953365

仪器名称:光学轮廓仪(轮廓仪)

型号: WykoNT9100

厂家:美国Veeco公司

特点:无接触式测量物体表面三维形貌及粗糙度等。
用途:材料表面形貌测试。

说明:在0.1nm到10mm的垂直扫描范围内提供了快速、高精度的三维表面形貌测量功能,适用于测量薄膜厚度、机加工粗糙度、医疗器械、光学器件、LED形貌等。

联系方式:陈老师 87953365

联系地址:杭州市西湖区浙大路38号浙江大学玉泉校区第三教学楼126房间

测试结果参考:


非接触式测量粗糙度

三维形貌测试