仪器设备

三维干涉显微镜(轮廓仪)

用光的干涉原理,非接触式测量样品的三维形貌,得到三维形貌图以及相关数据。主要是测试三维形貌及非接触式的粗糙度测试。



预约须知:


1、校内用户可点击上方绿色“校内预约”按钮从系统中预约。校外用户请联系电话057187953365 联系陈老师咨询预约。

2、 测量样品的测量面,需要保持水平状态,可能会需要自制样品夹具以保证被测面水平;

3、 只能测试微观区域(单次测量最大5*5mm左右,若需要更大的测量范围,可以选用拼接的方法,拼接和到厘米量级,但时间会很长。最小测量范围是100倍光学显微镜能观察到的区域,图区域是50*50um,若是100纳米或以下的样品,是看不到的)。

4、样品尺寸不大于15*15*15CM就可以。


校外预约:0571-87953365

仪器名称:光学轮廓仪(轮廓仪)

型号: WykoNT9100

厂家:美国Veeco公司

特点:无接触式测量物体表面三维形貌及粗糙度等。
用途:材料表面形貌测试。

说明:在0.1nm到1mm(注意只能测试高度差1mm以内样品)的垂直扫描范围内提供了快速、高精度的三维表面形貌测量功能,适用于测量各种材料厚度、表面粗糙度、空隙容积、表征三维形貌等。

关键字: 三维 三维成像 显微镜 轮廓 面型 表面分析 光学成像 成像 3D 3D成像 三维形貌

联系方式:陈老师 87953365

联系地址:杭州市西湖区浙大路38号浙江大学玉泉校区第三教学楼126房间

测试结果参考:


非接触式测量粗糙度

三维形貌测试