仪器设备

台阶仪

可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面形貌测量。台阶高度重现性:最大5A; 垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范围下) ;垂直范围:0-1mm;单次扫描长度范围55mm;探针半径2微米。
仪器名称:台阶仪
规格:
用途:可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面形貌测量。台阶高度重现性:最大5A; 垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范围下) ;垂直范围:0-1mm;单次扫描长度范围55mm;探针半径2微米。
说明:

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

型号规格:DEKTAK-XT

价值:24万元

生产厂商:Bruker

存放地点:玉泉校区第三教学楼135室

联系人:陈莉英

电话:87953365