仪器设备

台阶仪

微纳米级别表面形貌测量。台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量,粗糙度测量,台阶,凹坑,突起测量。

用探针接触式扫描,类似原子力显微镜,比原子力显微镜测试范围大,建议20nm 以上台阶前来测试。 台阶高度重现性:最大5A 垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范围下) 垂直范围:0-1mm(只能测试微米级别及以下的台阶,台阶太高不行的) 单次扫描长度建议小于3mm更准确。 横向扫描精度在微米级别(探针直径2微米,若台阶间隔小于2微米,探针无法到达底部区域),纵向扫描精度在纳米级别(若台阶小于20nm,推荐用原子力显微镜)

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预约须知:


1, 有磁性的物质不能测试;

2, 测量样品的测量面,需要保持水平状态,可能会需要自制样品夹具以保证被测面水平;

3, 最小可测试到20nm左右厚度,推荐微米级的前来测试;

4, 因为是探针 接触式测量,如果是有弹性的物质,推荐使用“三维干涉显微镜”测试。

5,测量样品台阶或凹槽的垂直高度,探针直径2微米。若测试的凹槽宽度与2微米很接近,那探针无法探到凹槽的底部。


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仪器名称:台阶仪

型号:DEKTAK-XT

厂家:德国布鲁克公司

说明:台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。关键字: 表面形貌 深度 膜厚 轮廓 突起 面型 粗糙度 台阶

联系方式:陈老师 0571-87953365

联系地址:杭州市西湖区浙大路38号浙江大学玉泉校区第三教学楼135房间

测试结果参考:

测试薄膜厚度


薄膜测试数据

凹坑深度测试

粗糙度测试

规则连续突起测试高度

台阶测试