仪器设备

台阶仪

可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面形貌测量。台阶高度重现性:最大5A; 垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范围下) ;垂直范围:0-1mm;单次扫描长度范围55mm;探针半径2微米。

校外预约:0571-87953365

仪器名称:台阶仪

型号:DEKTAK-XT

厂家:德国布鲁克公司

特点:测量样品台阶或凹槽的垂直高度,探针直径2微米。
用途:可用于微电子、半导体、太阳能、薄膜、材料等领域实现纳米级别表面二维形貌测量。垂直分辨率最大1A;垂直范围0-1mm;单次扫描长度范围小于55mm。

说明:台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。

联系方式:陈老师 87953365

联系地址:杭州市西湖区浙大路38号浙江大学玉泉校区第三教学楼135房间

测试结果参考:

测试薄膜厚度


薄膜测试数据

凹坑深度测试

粗糙度测试

规则连续突起测试高度

台阶测试